 |
ЭМ-2085А - предназначен для резки полупроводниковых пластин на кристаллы в спутниках-носителях.
Полуавтомат построен в соответствии с традициями общей мировой практики аналогичного класса установок резки пластин на кристаллы в спутниках-носителях, оснащенных одним высокопрецизионным электрошпинделем.
Полуавтомат обеспечивает автоматическую резку с ручной ориентацией пластины.
Особенностями полуавтомата является использование высокопрецизионных линейных шариковых направляющих, обеспечивающих высокие точности перемещения и легкость ремонта.
Полуавтомат снабжен датчиками обратной связи на приводах X, Y и Z, бесконтактной системой для контроля глубины реза и износа лезвия, расширенной памятью процессора и закрытой зоной обработки.
Управление приводами выполнено на современной элементной базе, обеспечивающей большую надежность, компактность, гибкость и долговечность. Полуавтомат осуществляет диагностику систем управления приводами с выдачей оперативной информации на жидкокристаллический монитор.
При отсутствии заводской вакуумной магистрали, возможно использование вакуумного насоса, входящего в состав полуавтомата. |
Технические характеристики |
|
Максимальный диаметр обрабатываемых пластин |
200 мм |
Максимальная толщина пластин |
3 мм |
Диапазон подачи стола предметного |
от 0,1 до 600 мм/с |
Накопленная погрешность шаговых перемещений электрошпинделя по координате Y на длине 210 мм, не более |
0.004 мм* |
Частота вращения вала электрошпинделя |
от 14000 до 60000 мин-1 |
Выходная мощность на валу электрошпинделя при частоте вращения вала 60000 мин-1 |
1200 Вт |
Очищенная водопроводная вода |
от 0.2 до 0.3 МПа |
Сеть слива воды с пропускной способностью |
0.12 м3/ч |
Сжатый воздух 1 класса загрязненности |
|
• давление |
от 0.5 до 0.6 МПа |
• расход |
12 м3/ч |
Вакуум |
от 0.04 до 0.03 МПа** |
Электропитание и потребляемая мощность |
230 В, 50 Гц |
Потребляемая мощность |
1.8 кВт |
Габаритные размеры, не более |
970x950x1400 мм |
Масса, не более |
500 кг |
*- При температуре воздуха в помещении 20-24°С |
|
** - При отсутствии заводской вакуумной магистрали, возможно использование вакуумного насоса, входящего в состав полуавтомата |
|
По вопросам приобретения оборудования и технологий обращайтесь на фирму «Лицензиннова» (ФГУП «Лицензинторг»):
Тел.: (495) 797 63 60,
факс: (495) 958 09 83, е-mail: petrov@licenz.ru
|
